1.6 电子级水技术指标 GB/T 11446.1-1997
指标/级别 | EW-I | EW-II | EW-III | EW-IV | 电阻率MΩ·cm(25℃) | 18以上(95%时间)不低于17 | 15(95%时间)不低于13 | 12.0 | 0.5 | 全硅,最大值,µg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | 1µm微粒数,最大值,个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 细菌个数,最大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | 铜,最大值,µg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | 锌,最大值,µg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | 镍,最大值,µg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | 钠,最大值,µg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | 钾,最大值,µg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | 氯,最大值,µg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | 硝酸根,最大值,µg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 磷酸根,最大值,µg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 硫酸根,最大值,µg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 总有机碳,最大值,µg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
|