工程案例
浙江集迈科微电子有限公司制程气体过滤设备项目
日期:2020/8/10 14:57:08 人气:2457

【项目名称】

浙江集迈科微电子有限公司制程气体过滤设备项目


【项目概况】

浙江集迈科微电子有限公司制程气体主要产生于各生产工序过程中。根据业主提供的资料,该项目废气主要为:酸性工艺废气、碱性工艺废气、一般废气、有机废气。根据废气的性质以及区域划分,有机废气、一般废气单独处理,将酸性和碱性废气合并处理,处理后排放达到环评要求。


【废气分类及风量】

设计废气参数详细如下:

1.酸碱性工艺废气,设计风量:35000m³/h。

2.有机废气,产生浓度VOC<60mg/m³,设计风量约20000m³/h。

3.一般性废气,主要产生源为泵设备热气体,设计风量:20000m³/h。

 

【废气排放标准】

废气处理后排放执行如下标准:

执行标准

表号

级别

排气筒

高度

污染物指标

标准限值

浓度

mg/m3

速率

kg/h

无组织排放厂界外最高浓度限值mg/m3

《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)

表2

二级

15m

氟化物

9.0

0.1

0.02

锡及其化合物

8.5

0.31

0.24

非甲烷总烃

120

10

4.0

 

 

 

 

《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)

表5

15m

氰化氢

0.5

/

/

硫酸

30

/

/

NOx

200

/

/

表6

单位产品基准排气量其他镀种(铜、镍等)

37.3m3/m2(镀件镀层)

《工业企业挥发性有机物排放控制标准》DB12/524-2014

15m

VOCs

 

 

 

 

【废气处理工艺】

1.酸碱性工艺废气,设计工艺为:

废气收集系统+碱液洗涤塔+风机+烟囱排放。

2.有机废气,设计工艺为:

废气收集系统+碱液洗涤塔+过滤活性炭吸附+风机+烟囱排放。

3.一般性废气,设计处理工艺:

 废气收集系统+风机+烟囱排放。

 

【工程照片】




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