【项目名称】

通富超威半导体有限公司废气处理工程

【项目背景】

根据业主提供的资料，业主车间现有1F、2F、3F车间尾气经收集系统排至楼顶的废气处理系统内，经初步处理后排放；目前大致情况如下：

1. 1F尾气处理系统设计风量为：8583m³/h，现有处理工艺为：收集系统+一级活性炭吸附+二级活性炭吸附+风机+烟囱排放；

2. 2F尾气处理系统设计风量为：57000m³/h，现有处理工艺为：收集系统 +风机（2用1备）+光氧催化+烟囱排放；

3.3F尾气处理系统设计风量为：11000m³/h，现有处理工艺为：收集系统+一级活性炭吸附+风机（1用1备）+烟囱排放；

目前业主为了响应日趋严格的环保要求，为国家环保废气减排做贡献；业主计划针对现有尾气处理系统做升级改造，并满足相关环保以及排放要求。根据我司以往处理相类似废气的经验，本着“安全、经济、有效、合理”的原则，提交以下废气处理改造设计方案：

【废气种类及排放标准】

设计风量及设计进气浓度具体如下：

依据环评资料，项目排放的废气执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3、表4标准，无组织的非甲烷总烃还需执行江苏省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中相关标准，具体标准值见下表。

【工艺流程图】

【工程照片】