【项目名称】

浙江集迈科微电子有限公司制程气体过滤设备项目

【项目概况】

浙江集迈科微电子有限公司制程气体主要产生于各生产工序过程中。根据业主提供的资料，该项目废气主要为：酸性工艺废气、碱性工艺废气、一般废气、有机废气。根据废气的性质以及区域划分，有机废气、一般废气单独处理，将酸性和碱性废气合并处理，处理后排放达到环评要求。

【废气分类及风量】

设计废气参数详细如下：

1.酸碱性工艺废气，设计风量：35000m³/h。

2.有机废气，产生浓度VOC＜60mg/m³，设计风量约20000m³/h。

3.一般性废气，主要产生源为泵设备热气体，设计风量：20000m³/h。

【废气排放标准】

废气处理后排放执行如下标准：

【废气处理工艺】

1.酸碱性工艺废气，设计工艺为：

废气收集系统+碱液洗涤塔+风机+烟囱排放。

2.有机废气，设计工艺为：

废气收集系统+碱液洗涤塔+过滤活性炭吸附+风机+烟囱排放。

3.一般性废气，设计处理工艺：

 废气收集系统+风机+烟囱排放。

【工程照片】